单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。
单晶炉主要组成部分如下：
提拉头：主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成
副室：主要是副室筒以及上下法兰组成
炉筒：包括取光孔
下炉筒：包括抽真空管道
底座机架：全铸铁机架和底座
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